带隙的电阻微调、修调

dyjguilin

请问，带隙的电阻微调，谁有做过，流片时测试，电流熔断fuse，需要什么仪器？？测试焊盘要多大合适？？熔丝 ...
lifusu 发表于 2011-5-19 22:32

                               
登录/注册后可看大图

电流熔断fuse，需要什么仪器？？
re：这个应该是专用设备，不过用一般的电压源估计也可以，每个fab的熔丝不一样，要具体看烧熔丝需要多高电压，电流多大，要持续多久就知道了

测试焊盘要多大合适？？
re：这个东西是由fab决定的，一般应该在fab提供的工艺库中，也可以向fab索取

shikaicool

thank you

yshmilyou

一般来说
fuse可以选取poly， contact/vial, 或者metal
fuse烧断的电压，电流，时间和fuse的类型，宽度，长度，形状有关，不同的fuse类型，结构，制程，都会有不尽相同的烧断机理
对于0.35以下制程，电流基本小于100mA，电压要保证能够提供所需的电流，时间一般在us~ms量级就可以了
基本上foundry都会有fuse memory的IP，使用和fuse IP一样的cell和烧断条件，基本就可以满足需要
对于一个有3~5个fuse组成的trim电路，很容易取得比较高的良率

连接fuse两端的pad就是普通的pad，注意pad和fuse的连接要足够宽，contact，vial数量也要够大，这样才能使烧断的区域产生在fuse上

naoz

熔断的话工艺或是测试厂家可以

实验室的话有探针台也是可以的 扎上探针

joooohn

fuse PAD一般为60
烧熔丝一般瞬间加安培级电流
用底层金属或poly

chenxiaoming

luguo

丁艳

多谢！

peterlin2010

current trim 使用 metal fuse 一般 top layer-1 , 因怕太細
被吃斷

一般來說 3~4v   電流 10~20ma 會斷開 ,
metal fuse Trim pad 可以小些 60~70um size ..
不過 current trim 因 probe card 加入 某些電路 trim時會 使電路 ring
得考慮下
還有些會 trim fuse 旁加些 diode 防大電流亂跑
一般 trim 時 只有 trim pad 有電 , vcc gnd 是 floating  某些情況會電流亂跑 ..
會 esd or latch up 要小心


poly fuse 比較少人使用 , 因為 poly fuse 如第一次沒燒斷
下次阻亢變高 到 ~K ohm ..你燒不了
有些 e-Fuse 是使用 poly fuse 可以 pakcage 後在 trim ,
因為 package 後會讓 bangdap shift 幾 mv 會使 unpackage -> package 後有不同 ,

zhanghao301

拿来学习一下，谢谢