etching accuracy是随工艺不断提高的,这一点毫无疑问,如果还按180nm的刻蚀,45nm device就不可能work,不过etching accuracy的提高赶不上器件面积的scaling down罢了,这个很好理解,一个是线性提高,一个是按平方律缩小,所以就显得工艺越先进,match越差了。
common centroid 仅仅是为了避免在大尺度情况下,抵消梯度变化带来的影响,可以翻翻书,我好像记得是这么说的。并不能避免random mismatch。所以我的理解就是,在现在工艺条件下,device距离都很近,不需要common centroid structure。或者说layout不应该把主要精力放到这个上面,而是要考虑其它更重要的effect。呵呵,随便说说的,跟教科书上可能不太一样的建议。
BTW,device mismatch is not only depended on etching. Doping is the dominant effect.