东部0.18um Sealring 问题

Xers包子 · 发表于 2025-10-27 12:28:48

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

×

请问一下东部DRC要求芯片到一定尺寸Searling要切角60um，我觉得很大浪费许多面积，我突破此规则只切角40um可以吗会有什么致命问题吗，以前我做上华工艺是可以的。

tosayes · 发表于 2025-10-27 17:03:03

是4个角上的rule么？
一般是不能改的。

Nick95 · 发表于 2025-10-27 17:10:45

应该是可靠性方面的问题，可能会增加DieCrak之类的风险，良率可能会受到影响

Xers包子 · 发表于 2025-10-27 17:32:45

tosayes 发表于 2025-10-27 17:03
是4个角上的rule么？
一般是不能改的。

对，4个角，手动把他改小了一点点

happy_star · 发表于 2025-10-27 17:48:56

emmm我们做这个工艺的时候这四个角的drc一般都没按他的来

Xers包子 · 发表于 2025-10-27 17:58:49

happy_star 发表于 2025-10-27 17:48
emmm我们做这个工艺的时候这四个角的drc一般都没按他的来

谢谢，切角主要是抗应力，它还有什么作用吗，一般小一点应该没啥问题。

zly1006 · 发表于 2025-10-28 09:41:44

承担风险就行经常有这样改的

tosayes · 发表于 2025-10-29 17:30:26

Xers包子发表于 2025-10-27 17:32
对，4个角，手动把他改小了一点点

这个主要是万一出问题了，这不是要扯皮么。
没必要扣这么点，反正角上也放不了什么东西。

molteza · 发表于 2025-10-30 18:18:01

These days SMIC is in a very high load situation and its better to consult with 3rd party company for cutting with the minimum spacing 40um for scribe line.

账号		自动登录	找回密码
密码			注册

[求助] 东部0.18um Sealring 问题

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

站长推荐 /1