decap管子漏电

knowworlds

我们就是ESD继续往高了打，发现相同的function失效。发现的这个问题。

totowo

我们碰到过，早夭测试fail。后来我们也问过tsmc，tsmc的可靠性文档里有提到过这个，尤其是moscap+momcap叠在一起的时候。

totowo

我们碰到过，早夭测试有个别fail，后来发现tsmc的可靠性文档里有提到这种现象，尤其是MOSCAP上叠加MOMCAP的时候。
你可以去查TSMC的文档Q-RAS-01-02-020 (Version:17)，我就不截图了

ericking0

正经情况下clamp的结击穿应该可以保护gate-ox击穿的，这个算是所有cmos工艺ESD设计的基础；
要想复现，我能想到的办法就是CDM使劲王上怼；
栅氧击穿这种事情和设计基本没啥关系，大概率就是栅氧工艺控制的不好，能干呃事情无非就是看看wafer有没有在poly之前hold太久，看看WAT这个lot阈值有没有偏低，找foundry要要PCM参数看看栅氧数据有没有异常，打听打听这个lot的wafer中间有没有异常报废什么的；
如果都没有，那么大概率就是栅氧的defect，没办法；
不过干啥，都需要foundry的全力配合，而且概率这种事情别指望designer能搞定；

如果是我的话，我的to do应该如下：
1. 给foundry提一下，你们栅氧击穿了，这么成熟的工艺，clamp连栅氧都保不住，快点去排查一下，要不大批量爆就悲催了；
2. 加班加点快点改ATE程序，看看能不能想点办法把可能有风险的片子筛掉；
3. 找客户做一下向上预期管理；

knowworlds

   

totowo 发表于 2025-8-26 16:25
我们碰到过，早夭测试有个别fail，后来发现tsmc的可靠性文档里有提到这种现象，尤其是MOSCAP上叠加MOMCAP的 ...

请问什么叫早夭测试。。。没听过这个词

totowo

   

knowworlds 发表于 2025-8-27 10:03
请问什么叫早夭测试。。。没听过这个词

早夭测试，即Early Life Failure Test (ELFT)，是AECQ100里的一个标准程序，这个跟HTOL有一点类似，但区别是：

HTOL是用来模拟 芯片老化几十年后的状态，但实验的芯片数量只有几十颗；
而ELFT是来模拟 芯片老化早期（比如1年）后的状态，这个实验的芯片数量要数千片，这个实验的基本原理是基于失效率的浴盆曲线（bath-tub curve）性质；
这俩都属于Reliability的范畴，而不是ESD的问题，所以我认为你ESD实验只要过了而且还有比较大的裕量，不建议从ESD这个角度去考虑。

你就说你是不是MOMCAP叠加MOSCAP吧？如果是的话，大概率就是reliability问题。我理解本质上这个其实是跟天线效应类似，tsmc提的的解决方案也是按照天线效应的思路去解决的

nanke

   

totowo 发表于 2025-8-26 16:25
我们碰到过，早夭测试有个别fail，后来发现tsmc的可靠性文档里有提到这种现象，尤其是MOSCAP上叠加MOMCAP的 ...

perc和drc相关文档没看到相关的描述。没有t的账号，可以简单讲一下为什么moscap叠加momcap有风险吗？

totowo

   

nanke 发表于 2025-8-27 11:32
perc和drc相关文档没看到相关的描述。没有t的账号，可以简单讲一下为什么moscap叠加momcap有风险吗？
...

tsmc那个文档里没有讲其中的机理，但是看起来跟Antenna Rule很相似，只不过可能如果MoM刚好叠在MOSCAP上的话可能出现的概率更高，因为那个可靠性文档里他对Antenna的面积比要求要严得多得多。。。bypass cap面积越大，出现的概率肯定越高。

我们理解本质上也是工艺上总归有各种各样的误差、缺陷等等，总有一个(一些）最薄弱的mos管导致短板发生。但是如果这个bypasscap用在一些低阻节点（比如电源下），其实有一点点漏电没有那么大的问题，如果你是用在一个高阻节点（比如前面有大电阻用来做RC滤波的），那么这个漏电就可能导致功能出现问题。

hzhou

现在设计中的decap cell基本不会把MOS gate直接接电源或着地，有常用的decap cell电路结构可以参考。直接把gate接VDD/VSS，极易出现楼主提到的尕特oxide击穿现象。另外ESD测试中采用I-V曲线判别是否fail，是常用的简化方法，正式判别是功能性能功耗全部测试。

kwankwaner

   

hzhou 发表于 2025-8-27 12:58
现在设计中的decap cell基本不会把MOS gate直接接电源或着地，有常用的decap cell电路结构可以参考。直接把 ...

这句话有出处么？