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[原创] 东部180nm中PCHSTBLK层到底有什么用?

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发表于 2025-8-4 18:36:04 | 显示全部楼层 |阅读模式

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如图,只知道PCHST 是“P-type CHannel STop”的缩写,指在 CMOS 工艺中利用硼(B)离子注入,在场氧(FOX 或 STI)下方形成的 p+ 沟道阻断层;它能把寄生场氧 MOS 的阈值电压抬高,从而抑制在场区形成意外导电沟道,避免器件间泄漏和闩锁。
PCHSTBLK是一张“阻断 (block) 掩模”;版图中凡画此层的区域,在实际制程里会阻挡上面提到的 PCHST 硼注入,使这些位置保持原本的掺杂类型或由其他定向注入来主导。简言之:PCHST 负责“到处打硼”,而 PCHSTBLK 负责“把不该打硼的地方罩住”。
看了这层的定义,但是还是不理解,还是不知道在电气上有什么效果?
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