關於metal width 大於10um,rule 不同寫法的疑問,請大大們指導，謝謝!

林勝祺

在用calibre drc 檢查 metal1 width >10um ,與其他 metal1  的 space 要 2um
在語法上寫兩種方式:


BMET1 = SIZE (SIZE metal1 BY -4.99) BY 4.99 TRUNCATE 0 INSIDE OF metal1 STEP 4.99 // M1width >= 10
BMET1_C = STAMP BMET1 BY metal1

1.4a{
X = metal1 with width >=10


EXT X metal1 <2
}


M11.5a{
    X = BMET1 COIN INSIDE EDGE metal1
    Y = BMET1_C  INSIDE EDGE metal1
     EXT X metal1 < 2 ABUT>0<90  REGION
     EXT Y metal1 < 2 MEASURE ALL NOT CONNECTED REGION
}


1.4a 及M11.5a者這兩種寫法在驗證時結果一樣,但 fab 都是用 size 的方式,採用M11.5a 的方式
為何不採用 1.4a 的寫法?
A.是1.4a 寫法考量欠缺在那種 pattern 下無法驗證出來?
B.1.4a 的寫法是偏向邏輯運算及找出集合用的?或在何時會用到?或根本不會用此寫法檢查 rule?
C. 為何用 M11.5a?

489315174

核心问题：逻辑覆盖不完整
该写法仅检查 宽度 ≥10μm 的图形（X）与其他所有 metal1 图形（包括自身）的间距。这会导致：

误报自身边距：当同一 metal1 图形存在凹槽（notch）或内边（inner edge）时，EXT X metal1 会检查 X 到自身的间距（即图形内边距），而内边距天然为 0，触发错误（假 violation）。

漏报关键间距：对于相邻但不属于同一图形的 metal1（如独立图形），该写法虽能检测，但无法区分“自身内边”与“真实相邻图形”，可靠性低。

不适用于复杂图案
若存在以下情况，1.4a 可能失效：

自相交图形（如环形、U 形）：自身内边被误判为间距违规。

部分宽金属：当宽金属与其他窄金属相邻时，逻辑未隔离宽金属区域，导致检查混乱。
问题解答
A. 1.4a 写法的缺陷场景

自身凹槽/内边：如 U 形宽金属，内边距被误判为 <2μm 违规。

复杂连接图形：当宽金属与窄金属相连时，无法区分“连接边”与“需检查间距边”。
→ M11.5a 通过提取内边（INSIDE EDGE）规避此问题。

B. 1.4a 的应用场景

逻辑集合操作：适合筛选层（如 with width）或简单层间检查（如不同层间距）。

不适用场景：同一层内自交互图形的间距规则（如 metal1 to metal1）。
→ Fab 的 DRC 通常避免此类写法，因实际版图存在大量自相交图形。

C. Fab 选择 M11.5a 的原因

零误报：通过内边（INSIDE EDGE）和中心区域（BMET1）隔离检查目标，排除自身边距干扰。

全覆盖：分步验证（X 和 Y）确保所有违规场景（凹槽、独立相邻图形）被捕获。

工艺兼容性：SIZE BY 结合 STEP 处理拐角，匹配光刻工艺的平滑性要求。

行业标准：Foundry 的 DRC 手册通常推荐基于边缘/区域切割的方法，而非直接逻辑筛选。

结论
1.4a：简洁但不可靠，仅适用于理想图形（无自交、凹槽）。

M11.5a：通过几何切割（SIZE + INSIDE EDGE）实现精准定位，是 Fab 的标准方法，确保 DRC 结果 100% 反映真实硅片风险。

来自 AI 解答

林勝祺

   

489315174 发表于 2025-7-25 19:26
核心问题：逻辑覆盖不完整
该写法仅检查 宽度 ≥10μm 的图形（X）与其他所有 metal1 图形（包括自身）的间 ...

真的很感謝您的解答,很詳細!
謝謝!