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发表于 2025-5-19 11:26:34 | 显示全部楼层 |阅读模式

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tilt/twist/rotation=7/0/4, 这个twist为0但是tilt为7度，这个7度是以什么方向为基准的？比如面向wafer，ion beam朝向notch的方向倾斜7度？

tilt/twist/rotation=7/22/4, 这个twist的22度，是以什么为基准的？比如面向wafer，ion beam以notch为基准，wafer逆时针旋转22度？

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