【求助】SMIC18的工艺，安装PDL时候选择了40K的顶层金属MTT2,但是没有MTT2到M5的孔

ZN0001

这个孔有没有可能叫MTT2_M5，这个层次叫TV1或者TV2呀

realgb

dsake1 发表于 2025-5-16 11:20
好像还真是这个逻辑，它用的全是MTT2的规则，但是管自己叫M6

就是这样的，你原来M6是顶层金属，改完了之后M6还是顶层金属，不会换成别的名字，只不过新的M6会遵循新的DRC，FAB加工的时候M6就已经跟旧的M6不一样了。

vansion

DRC规则给你换成了40K厚金属的的DRC，但layer用的应该还是M6（如果是六层金属的话）

vansion

vansion 发表于 2025-5-16 14:38
DRC规则给你换成了40K厚金属的的DRC，但layer用的应该还是M6（如果是六层金属的话） ...

所以你更换了PDK这里的M6就是你所需要的MTT2厚金属（可以看看DRC规则是否已经替换为MTT2的最小rule），后续FAB给你填的表里也会让你填写顶层金属厚度，他们就会按之生产，用M6画就可，所以就是5~6的孔

石头遇见雪

这个东西最关键的问题，你要看你安装的PDK是什么类型, 有可能是你安装的PDK都不对
你看你的PDK安装包的名字 如果说你的PDK的安装名字就是1P6M-5lc-1Top 那就相当于你的M6就是顶层金属，就不会有MTT2，如果你的PDK安装名称显示是1p8m-6lc-1top-1u-1ALPA 的话，才会存在你所谓的MMT2，这些，根据你的描述你PDK大概率是1P5M-5lc-1top 只是给你了M6两个选项而已，所以你的顶层还是metal6，不是mtt2,当然打不下去孔了。
同理，这些东西都可以在design RULE里面找到，看一下你的PDK就好了
最后，悬赏