【求助】SMIC18的工艺，安装PDL时候选择了40K的顶层金属MTT2,但是没有MTT2到M5的孔

dsake1

SMIC18的工艺，本来一直用的是9K的顶层金属，但是迫于供电电流较大更换成40K的顶层金属，现在重新安装了一下pdk，选择了40K的顶层金属来使用，但在实际画版图时候没有找到MTT2和M5两个层连接的孔，手册上表明使用TV孔，但画版图时候画上TV和M5显示的是未连接。这种情况要怎么使用MTT2这种40k的顶层金属呢？

幽影

createvia里没有相关的孔定义？有的话你调出来看下不就好了

realgb

没用过这个工艺，不过一般改变设置之后顶层金属都是直接替换的，你那为什么会多一层需要打孔呢？

dsake1

幽影 发表于 2025-5-16 10:35
createvia里没有相关的孔定义？有的话你调出来看下不就好了

createvia里面只有M6到M5的孔，就是从物理角度上来说我知道M6和MTT2是同一个东西只是厚度不一样，V5理论上也是能直接连接上的，但是版图会显示未连接

dsake1

realgb 发表于 2025-5-16 10:37
没用过这个工艺，不过一般改变设置之后顶层金属都是直接替换的，你那为什么会多一层需要打孔呢？ ...

我更换完设置以后M6还存在，MTT2也存在，它这两个层就是用来标识不同厚度的顶层金属，他没有直接替换所有的顶层金属M6为MTT2，正常来说是都会直接替换掉吗？第一次干到一半重新换金属层设置不太懂

幽影

你看下版图里面M6的间距、线宽跟MTT2的一样不，一样的话，就是版图你还是用M6，后续fab处理的时候会把这个转换成MTT2

Quinn714

重新安装之后，连接关系的layer会变，可以到lvs rule中对应metal option中查看定义，另外，smic18一般是用tv1或者TV2，不过自动打孔会根据他tf定义打孔，你自动打孔也不能用吗

dsake1

Quinn714 发表于 2025-5-16 11:03
重新安装之后，连接关系的layer会变，可以到lvs rule中对应metal option中查看定义，另外，smic18一般是用t ...

自动打孔直接报错报的没有对应的孔

dsake1

幽影 发表于 2025-5-16 10:54
你看下版图里面M6的间距、线宽跟MTT2的一样不，一样的话，就是版图你还是用M6，后续fab处理的时候会把这个 ...

好像还真是这个逻辑，它用的全是MTT2的规则，但是管自己叫M6

wyg8871

1、lay库重新关联一下pdk库，2、lvs file里面的定义改了吗，3、不行就重启vt