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[原创] 关于BCD工艺的一些理解

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发表于 昨天 21:14 | 显示全部楼层 |阅读模式

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什么是BCD工艺?为什么要用BCD工艺?DMOS器件选型时应该怎么考虑?以下是我做完超声波芯片和电源管理芯片后的一些理解。

BCD(Bipolar-CMOS-DMOS)工艺是一种将双极型晶体管(Bipolar)、互补金属氧化物半导体(CMOS)和双扩散金属氧化物半导体(DMOS)集成在同片晶圆上的半导体制造技术。该工艺由意法半导体(ST)于1986年首次推出,通过融合三类器件的性能优势,突破了单一工艺的技术局限,成为功率芯片领域的关键技术。

‌Bipolar‌:采用双极型结构(NPN/PNP),适用于高速和高精度的模拟信号控制;
‌CMOS‌:提供低功耗、高密度的数字和模拟电路;
‌DMOS‌:支持高电压和大电流的芯片设计领域,比如电源管理、汽车电子等。

其中DMOS可分为LDMOS(Lateral double diffused mos)和VDMOS(Vertical double diffused mos),LDMOS因为更容易与CMOS工艺兼容而被广泛采用。
LDMOS和DEMOS的区别:
DEMOS:drain端耐压;W和L可变;高Rdson;单独的bulk电位;正常的阈值电压;非开关的功率电路使用;常用于高压低电流。
LDMOS:drain端耐压;W可变L固定;低Rdson;source和bulk同电位;高阈值电压;功率开关应用较多;常用于高压大电流。

高电压指任何足以损坏栅氧化层的电压,它的使用是以牺牲硅片面积为代价。
大电流指任何显著增加导通损耗的电流,它的使用需要超厚的金属层来通流。

在使用耐压器件时一定要注意自身的寄生效应,往往对电路造成一些不良影响;同时耐压器件常接PAD,需要考虑到ESD测试时的问题。

‌综合优势‌
‌系统级优化‌:通过三维器件互联减少芯片面积,降低电磁干扰与功耗,提升整体可靠性。
‌设计灵活性‌:支持模块化开发,可根据应用场景灵活配置功能模块,例如在电源管理芯片中整合高精度模拟控制和功率输出单元。
‌工艺扩展性‌:兼容新型器件技术(如FinFET),适应先进制程节点的性能需求。
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