一个shotmap的26mm x 33mm都可以用来塞芯片和划片槽吗？

wingofray

还需要额外预留点面积吗？比如一颗芯片算划片槽正好是1mm x 1mm，那么我的shotmap就可以设定为横向26颗，纵向33颗吗？

之前理解这个东西就是生产时一次曝光的区域，每个shot上多少颗芯片，不影响整张wafer的利用率和产出，如果一个shot的芯片数少了，只是光刻机要在一张wafer上多走几次而已，是这样的吧
但貌似很多时候我们不会顶着26 x 33的面积去摆芯片，都会留一点，但留多少合适呢？比如排好了发现已经25.5mm * 32.5mm了，这种也行吗？需要留个1mm以上吗？或者留到两三毫米了行吗？