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查看: 689|回复: 6

[求助] 同样的SAR结构,mim比mom有效位数更高?

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发表于 2025-3-3 10:37:08 | 显示全部楼层 |阅读模式

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最近在做一个SAR,发现用mim和mom电容做cdac,发现mim的精度比mom高很多,这是为什么呢?感觉很奇怪的现象。如果mim更好为什么大家都用mom呢?(mim和mom是同样容值)
发表于 2025-3-3 11:01:31 | 显示全部楼层
小工艺常用MOM
发表于 2025-3-3 11:09:42 | 显示全部楼层
MOM不额外加层
 楼主| 发表于 2025-3-3 11:44:01 | 显示全部楼层
所以mim就是会比mom的精度高吗?这个原因什么呢?有什么可以改善mom的精度吗
发表于 2025-3-3 11:51:54 | 显示全部楼层
因为MOM电容虽然绝对值精度不高,但是MOM电容的比值精度很高。一般情况下,高精度电路总是由比值决定性能。比如:BG中,电阻的比值来决定BG的性能。如:ADC中,电容阵列由特殊结构的MOM电容组成。
而MIM电容,需要用到夹层。增加了MASK。也就增加了成本。
它俩的区别可以从作用,成本,工艺制程等对方面进行综合评估。
发表于 2025-3-3 12:45:51 | 显示全部楼层


coolwayhu 发表于 2025-3-3 11:44
所以mim就是会比mom的精度高吗?这个原因什么呢?有什么可以改善mom的精度吗 ...


MIM电容在两层金属之间制作了金属夹层,金属夹层与金属之间的间距较小,并且还填充了高介电常数(high-K)的介质层,所以它的电容密度比较大。这个金属夹层与衬底距离远,因此,与衬底的寄生电容也很小。所以受衬底噪声影响小。所以MIM电容的精度高。而MOM电容是匹配精度高。
要想改善MOM电容的精度,只要技术足够高,可以自己设计,不用工艺厂商给的。



补充内容 (2025-3-21 10:02):
最后一句的经验。是跟着我们班大佬的面试经验得到的。
 楼主| 发表于 2025-3-4 09:48:44 | 显示全部楼层


bubushenghua 发表于 2025-3-3 12:45
MIM电容在两层金属之间制作了金属夹层,金属夹层与金属之间的间距较小,并且还填充了高介电常数(high-K ...


感谢回复,我目前是前仿,所以说明前仿的性能差异是电容容值本身带来的?后仿mom会性能更好?
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