数字宽金属走线需要转角135度 避免尖角放电吗?

小飞侠david

                               
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电压1.8V  数字电源环 使用宽度9um金属, 此金属最小间距0,4um, 请问转角有必要使用135度角吗 直角不行吗? 各位项目中这种情况是什么转角呢?

haoshiyang

一、可靠性角度分析 ‌电场集中问题‌ 直角转角会导致电场在拐角处集中，可能引发漏电流或局部击穿风险，尤其在0.4μm小间距场景下更为敏感‌13。135度斜角可分散电场分布，降低尖端放电概率。  ‌电流分布均匀性‌ 直角会增大局部电阻并形成电流密度热点，可能加速电迁移现象（Electromigration）。对于9μm宽度的电源环，135度转角或圆角可优化电流路径，提升长期可靠性‌3。  二、制造工艺适配性 ‌光刻与蚀刻工艺限制‌ 直角在光刻显影和金属蚀刻过程中易产生残留或刻蚀不足，增加短路风险。135度转角更符合工艺均匀性要求，减少缺陷率‌13。  ‌设计规则兼容性‌ 主流Foundry的版图规则（如SMIC工艺）虽未明确转角角度，但通常建议避免直角以符合DRC（Design Rule Check）隐含的可靠性约束‌1。  三、实际项目经验 ‌高频/高密度场景‌ 在数字电源环等大电流路径中，多数项目采用135度或圆角设计‌3。例如，某40nm工艺项目中，电源环使用45nm金属层时明确要求转角角度≥135°，以降低EM风险。  ‌资源与效率权衡‌ 直角设计虽节省版图面积，但在9μm宽金属场景下，面积节省效益有限。135度转角对布线资源影响较小，同时显著提升良率和可靠性‌13。  ‌结论‌：建议优先采用135度转角设计，避免直角。若需进一步优化，可结合仿真工具验证局部电流密度和热分布。

菜鸟一号

haoshiyang 发表于 2025-4-3 14:45
一、可靠性角度分析 ‌电场集中问题‌ 直角转角会导致电场在拐角处集中，可能引发漏电流或局部击穿风险，尤 ...

哈哈，AI味太浓了