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萧宏老师的 Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology--半导体制造技术导论,相比于“半导体制造技术”,里面工艺相关的内容更多一些
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文件太大,采取网盘地址方式发出,一般一本书分成两三个大附件下载下来,也得二三十个信元吧
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