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发表于 2024-10-23 21:39:16 | 显示全部楼层 |阅读模式

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1. Anisotropic plasma etching of polysilicon
   Anisotropic plasma etching of polysilicon - 百度学术
2. SIMPLE- A technique of silicon mocromachining using plasma etching

发表于 2024-10-23 22:12:46 | 显示全部楼层
1. Anisotropic plasma etching of polysilicon
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Anisotropic plasma etching of polysilicon.pdf

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 楼主| 发表于 2024-10-24 22:12:45 | 显示全部楼层
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