手动创建EMX衬底文件结果差好多

linxin2018

各位前辈好，我最近在研究怎么使用EMX进行电感仿真的问题，使用的是SMIC30nm工艺，手动建立的衬底文件如下，


# Comments start with '#' and continue to
# the end of the line

## Comments at the start of a line that
## begin with '##' are included in the
## output from --print-process

assume angstroms   # lengths will be in microns

# These are the GDSII layers for the conductors
define GT = L30T0
define M1 = L61T0
define M2 = L62T0
define M3 = L63T0
define M4 = L64T0
define M5 = L65T0
define M6 = L66T0
define M7 = L67T0
define M8 = L68T0
define V4 = L73T0
define V5 = L74T0
define V6 = L75T0
define V7 = L76T0
define ALPA= L83T0

# Dielectrics and conductors
#缺失过孔信息与金属层电阻率，可以去TD-MM13-SP-2001下P112寻找方块电阻率
#需要考虑是

layer             4000    4.2


        
layer              150       5
        conductor  1750 7.85 ohm/sq GT
        offset 5100
        conductor  2600  0.11 ohm/sq M1
layer               300      7.0
layer               5500      4.2
layer               300      7
layer               1900      3.84
layer               500      7
layer               7100      3.84
        offset 7100-3850
        conductor  3850 0.065 ohm/sq M2
layer               500      7
layer               7100      3.84
        offset 7100-3850
        conductor  3850 0.065 ohm/sq M3
layer               500      7
layer               7100      3.84
        offset 7100-3850
        conductor  3850 0.065 ohm/sq M4
layer               500      7
layer               7100      3.84
        offset 7100-3850
        conductor  3850 0.065 ohm/sq M5
layer               500      7
layer               7100      3.84
        offset 7100-3850
        conductor  3850 0.065 ohm/sq M6
layer               500      7
layer               7100      3.84
        offset 7100-3850
        conductor  3850 0.065 ohm/sq M7
layer               700      7
layer               36300      4.2
        offset 36300-30000
        conductor  30000 0.202 ohm/sq M8
layer               700      7
layer               4000      4
layer               4000      5
layer               4000      5
        conductor 12500 0.0231 ohm/sq ALPA
layer               4000      7
layer        infinity      1.0
#layer               12500      4.2可能有误
via     M4  M5   1 ohms/via   V4
via     M5 M6   1 ohms/via   V5
via     M6   M7   1 ohms/via   V6
via     M7   M8   1 ohms/via   V7
仿真结果如图

                               
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库里的参数如图

                               
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Temp_

工艺厂不是都会提供一个.proc的文件emx仿真的时候可以直接调用吗？为什么要自己建立衬底文件啊？

doghead

如果你是用来仿真pdk电感，那肯定是会不一样的，因为emx无法建模pdk电感中的psub层，L和Q都会不一样，但应该在6G以前是差不多的，同理pdk的电容也是一样的

linxin2018

Temp_ 发表于 2024-9-30 10:09
工艺厂不是都会提供一个.proc的文件emx仿真的时候可以直接调用吗？为什么要自己建立衬底文件啊？ ...

SMIC不提供这个文件

linxin2018

doghead 发表于 2024-9-30 10:57
如果你是用来仿真pdk电感，那肯定是会不一样的，因为emx无法建模pdk电感中的psub层，L和Q都会不一样，但应 ...

但是低频段差的也好多呀

linxin2018

doghead 发表于 2024-9-30 10:57
如果你是用来仿真pdk电感，那肯定是会不一样的，因为emx无法建模pdk电感中的psub层，L和Q都会不一样，但应 ...

请问前辈能再帮忙看看吗

doghead

linxin2018 发表于 2024-9-30 15:39
请问前辈能再帮忙看看吗

那就得看你自己写的proc呈现出来的layer定义能不能跟PDK对上了，你在EMX中点scaled就可以看到，低频都差很多的话应该就是哪里没写对了

linxin2018

应该是有一个地方我不知道怎么写，请问前辈可以指导一下吗，就是下图中画圈处这种绕过去的layer要怎么定义呢，看剖面图只差这个了

linxin2018

顶一下呜

linxin2018

doghead 发表于 2024-10-1 00:22
那就得看你自己写的proc呈现出来的layer定义能不能跟PDK对上了，你在EMX中点scaled就可以看到，低频都差 ...

应该是有一个地方我不知道怎么写，请问前辈可以指导一下吗，就是下图中画圈处这种绕过去的layer要怎么定义呢，看剖面图只差这个了