求助大神画Full Mask的问题

童yeah · 发表于 2024-9-8 18:00:38

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RT。有每个芯片的layout，现在想搭成full mask。除了把芯片排列好放上去，还要画别的东西吗？听说还得自己画对准标记？

andyfan · 发表于 2024-9-8 18:19:06

这个需要你们和代工厂谈好，其实就是所谓的FULL MASK的MPW，对准标记什么的是和光刻机台相关的，代工厂会处理的。

或者说的更简单点，就是还是MPW的做法，只是这个MPW都是你们一家的芯片。

童yeah · 发表于 2024-9-9 09:48:59

andyfan 发表于 2024-9-8 18:19
这个需要你们和代工厂谈好，其实就是所谓的FULL MASK的MPW，对准标记什么的是和光刻机台相关的，代工厂会处 ...

感谢大佬回复。
意思是我们自己还是只需要提供芯片的layout，具体在晶圆上怎么排列放置，还是代工厂那边处理是吗？

ZN0001 · 发表于 2024-9-9 09:55:56

童yeah 发表于 2024-9-9 09:48
感谢大佬回复。
意思是我们自己还是只需要提供芯片的layout，具体在晶圆上怎么排列放置，还是代工厂那边 ...

一般你需要排好吧，或者你可以问问FAB,

andyfan · 发表于 2024-9-9 11:27:14

童yeah 发表于 2024-9-9 09:48
感谢大佬回复。
意思是我们自己还是只需要提供芯片的layout，具体在晶圆上怎么排列放置，还是代工厂那边 ...

也可以你自己排好啊，这个也看你们自己需求，是每颗都需要单独封装测试，单独封装测试外面都要加好sealring，摆放的时候留好划片的空间，是不是有几颗需要重复放置等等，总大小不要超过最大光罩面积就可以了。

但也可以和FAB摆的人沟通，提出要求，让他们帮忙。工厂会利用划片槽放生产监控的TESTKEY，他们摆放，会更好的利用整体空间。

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