请教一下tsmc 7nm版图的drc问题

凯风快晴 · 发表于 2024-7-16 18:28:11

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图里随便画的两层M1金属，drc的summary里没有识别出这两条M1，但是results里会报M1.R.30.T这个错，大致意思猜测是M1xdy_META这个层必须inside在M1_main里。同样的问题也会出现在M0，M1等double pattern层，M4等高层金属不会有问题（summary里会识别出来）。查了一下design rule手册，关于M1_main只能查到这个表格，个人猜测是CAii是color A，CBii是color B，这两个图层在calibre.drc里的定义小弟也看得一头雾水，请教一下论坛里的大神有没有碰到过类似的问题

凯风快晴 · 发表于 2024-7-16 18:30:25

一些设置

凯风快晴 · 发表于 2024-7-16 20:29:00

顶一下

凯风快晴 · 发表于 2024-7-17 09:28:04

每日一顶

yuxidaliumang · 发表于 2024-7-17 09:36:14

本帖最后由 yuxidaliumang 于 2024-7-17 09:43 编辑

你这两根线上色了吗？7nm需要手动选择一下color,

抱歉，没看到你最后一张图，这个图是q metal的时候选择的吗

haydnzhang · 发表于 2024-7-17 09:37:17

没有做过7nm.

凯风快晴 · 发表于 2024-7-17 21:38:18

yuxidaliumang 发表于 2024-7-17 09:36
你这两根线上色了吗？7nm需要手动选择一下color,

抱歉，没看到你最后一张图，这个图是q metal的时候选择的 ...

是的，网上找了几个有7nm版图经验的人，都是这么设置的

凯风快晴 · 发表于 2024-7-18 16:01:27

顶一下自己

sahPersistence · 发表于 2024-7-18 19:53:59

目前情况就是需要给金属上色，才不会有这个DRC的问题，没做过7nm的，从楼主说明的情况来看，应该是M0-M3都需要上色。设置颜色有三种方式吧

sahPersistence · 发表于 2024-7-18 20:00:09

设置颜色：1、可以q一下金属的信息，在MTP color里面设置。2、可以toolbar里面的Multiple Patterning里面有相关设置3、就是设置快捷键mptDoToolbarAction("LockColor1"),mptDoToolbarAction("LockColor2")；需要注意的是设置颜色需要是lock的状态，要不也是会有DRC的问题的

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