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查看: 1494|回复: 19

[求助] 请教一下tsmc 7nm版图的drc问题

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发表于 2024-7-16 18:28:11 | 显示全部楼层 |阅读模式

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图里随便画的两层M1金属,drc的summary里没有识别出这两条M1,但是results里会报M1.R.30.T这个错,大致意思猜测是M1xdy_META这个层必须inside在M1_main里。同样的问题也会出现在M0,M1等double pattern层,M4等高层金属不会有问题(summary里会识别出来)。查了一下design rule手册,关于M1_main只能查到这个表格,个人猜测是CAii是color A,CBii是color B,这两个图层在calibre.drc里的定义小弟也看得一头雾水,请教一下论坛里的大神有没有碰到过类似的问题





下载.png
下载 (1).png
下载 (2).png
下载 (3).png
下载 (4).png
 楼主| 发表于 2024-7-16 18:30:25 | 显示全部楼层
一些设置
5R]1[IRX0]A}IUB}C5]TMOH.png
065{HQP`}Q32SPB(XRDJOS4.png
 楼主| 发表于 2024-7-16 20:29:00 | 显示全部楼层
顶一下
 楼主| 发表于 2024-7-17 09:28:04 | 显示全部楼层
每日一顶
发表于 2024-7-17 09:36:14 | 显示全部楼层
本帖最后由 yuxidaliumang 于 2024-7-17 09:43 编辑

你这两根线上色了吗?7nm需要手动选择一下color,

抱歉,没看到你最后一张图,这个图是q metal的时候选择的吗
发表于 2024-7-17 09:37:17 | 显示全部楼层
没有做过7nm.
 楼主| 发表于 2024-7-17 21:38:18 | 显示全部楼层


yuxidaliumang 发表于 2024-7-17 09:36
你这两根线上色了吗?7nm需要手动选择一下color,

抱歉,没看到你最后一张图,这个图是q metal的时候选择的 ...


是的,网上找了几个有7nm版图经验的人,都是这么设置的
 楼主| 发表于 2024-7-18 16:01:27 | 显示全部楼层
顶一下自己
发表于 2024-7-18 19:53:59 | 显示全部楼层
目前情况就是需要给金属上色,才不会有这个DRC的问题,没做过7nm的,从楼主说明的情况来看,应该是M0-M3都需要上色。设置颜色有三种方式吧
发表于 2024-7-18 20:00:09 | 显示全部楼层
设置颜色:1、可以q一下金属的信息,在MTP color里面设置。2、可以toolbar里面的Multiple Patterning里面有相关设置3、就是设置快捷键mptDoToolbarAction("LockColor1"),mptDoToolbarAction("LockColor2");需要注意的是设置颜色需要是lock的状态,要不也是会有DRC的问题的
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