wafer 背面颜色是什么原因导致的？

tencome · 发表于 2024-7-12 15:05:59

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同一家IDM wafer厂家，同样类型的wafer。
老款的wafer 背面是常规的硅片颜色，新款的wafer 看起来像有蓝色的镀层。

这个wafer 背面颜色的差异是什么原因导致的？

爱上鱼汤 · 发表于 2024-7-17 15:40:39

应该就是背面SiO2膜层厚度不同导致的颜色差异，常见的是偏蓝色，也棕色。经过封装减薄就能处理掉，如果激光隐切，稳妥点会做pregriding取出氧化层

tencome · 发表于 2024-7-17 22:14:41

爱上鱼汤发表于 2024-7-17 15:40
应该就是背面SiO2膜层厚度不同导致的颜色差异，常见的是偏蓝色，也棕色。经过封装减薄就能处理掉，如果激光 ...

wafer背面镀SiO2膜干啥？？？

cd1992 · 发表于 2024-7-18 09:56:48

tencome 发表于 2024-7-17 22:14
wafer背面镀SiO2膜干啥？？？

那得从整个晶圆制造工艺来说，就拿炉管长膜来说，是整体性的，不是说光在正面长，背面也会长膜的，但是不同的长膜后续工序是否有晶背的清洗，是否会进酸槽，这都是需要对整个工艺过程详细的分析，综合评估。也不是说背面的二氧化硅一定会干掉，晶背是二氧化硅还是二氧化硅/氮化硅或者更复杂的几层结构这都是有讲究的，你要是都去掉最常见的问题就是上机台会发生晶圆滑片现象，这是很严重的。

CrazyGengar · 发表于 2024-8-15 22:36:35

cd1992 发表于 2024-7-18 09:56
那得从整个晶圆制造工艺来说，就拿炉管长膜来说，是整体性的，不是说光在正面长，背面也会长膜的，但是不 ...

很详细，谢谢解答

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