有关功率管上的金属的问题

Cheney聪 · 发表于 2024-6-21 11:34:09

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功率管的上金属如果off grid的影响有多少，有没有这样做过。个人的理解如果考虑过度刻蚀的话，那金属off grid的，两个金属间距很远是不是问题也不大，有没有大佬解答一下啊

522526tl · 发表于 2024-6-21 11:44:41

影响很小，真正加工的误差都比你这个offgrid大，不过一般都会修掉这种drc吧，你的gds导出给fab，他们导入后off grid都会自动修复

이지은 · 发表于 2024-6-21 13:43:38

能修就修了噻，虽然都有偏差，至少自己出的gds保证没有偏差嘛，不然fab就是在给的偏差上有可能进一步加了一点偏差。

Cheney聪 · 发表于 2024-6-21 15:39:47

이지은 发表于 2024-6-21 13:43
能修就修了噻，虽然都有偏差，至少自己出的gds保证没有偏差嘛，不然fab就是在给的偏差上有可能进一步加了一 ...

您说的没错，正常能修就修了，也不是太大的问题，就是想从工艺制作上看看影响有多少，看有没有哪些大佬这样做过

ZN0001 · 发表于 2024-6-21 17:44:57

功率管上金属由于切梯度导致的格点问题我一般都忽略了

lnxmj · 发表于 2024-7-4 22:10:06

感谢分享

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