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[求助] 请教各位大佬一个关于smic28层次的问题

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发表于 2024-5-8 11:21:24 | 显示全部楼层 |阅读模式

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P2:poly trim slot ,不太理解这个层次的意思,是跟poly cut 一样的作用吗?

P4:HKMG PMOS poly remove,搜到过一个HKMG PMOS WF poly remove,有佬说是运算层,想知道没有WF,作用还一样吗?
请路过大神指导一下
 楼主| 发表于 2024-5-8 16:57:22 | 显示全部楼层


이지은 发表于 2024-5-8 14:36
1.smic的p2就是polycut
2.记不太清楚了,有那么个印象H啥的参杂浓度不一样,看看rule吧
...


层次介绍只有一句 poly trim slot ,其他没有
发表于 2024-5-8 15:44:42 | 显示全部楼层
P4与HKMG有关,HKMG概括就是用金属栅极代替硅栅提高介电常数,P4作为运算层参与刻蚀PMOS硅栅,gate frist工艺需要硅栅实现自动准,所以先生产后刻蚀。跟tsmc的PMET一个意思,由于PNmos金属栅极功函数不一样,所以PMOS上覆盖P4参与运算区分PN生成不同的金属栅极。
发表于 2024-5-8 14:36:33 | 显示全部楼层
本帖最后由 이지은 于 2024-5-8 14:38 编辑

1.smic的p2就是polycut
2.记不太清楚了,有那么个印象H啥的参杂浓度不一样,看看rule吧
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