大家聊聊版图各种效应和规避方法。

xwmBrave

版图各种效应 包括怎么产生怎么规避  欢迎大家来讨论。

maomao198477

说说你想到的

liu18662648735

常知的WPE，LDO通过合并OD添加dummy解决；finfet中因工艺特征PSE效应更加明显，方案就是统一poly间距，同样finfet生产中又会通过PSC切割栅，所以poly-cut若是太靠近fin时会影响靠近的边缘金属填充物，影响阈值电压（GLE效应），以上就是我所知道能理解的常见的效应，有知道更多的欢迎大佬们补充

xwmBrave

   

liu18662648735 发表于 2024-5-8 11:35
常知的WPE，LDO通过合并OD添加dummy解决；finfet中因工艺特征PSE效应更加明显，方案就是统一poly间距，同样 ...

棒棒哒  

Crazyfeng.

简而言之到了finfet，能多塞DMY多塞DMY，做matchX轴 要share od（并且Y轴方向OD spcae尽量以4fin的倍数）

大江南北

最常见的就是wpe和STI，wpe其最常用的方法就是关键器件的上下左右都加dummy，并保持well距离关键器件2um左右，工艺不同，这个值可能不一样；sti就是应力效应，也叫lod,最常见的方法就是share od,并加dummy.

黑豆peas

   

Crazyfeng. 发表于 2024-5-8 14:11
简而言之到了finfet，能多塞DMY多塞DMY，做matchX轴 要share od（并且Y轴方向OD spcae尽量以4fin的倍数） ...

share od是指合并还是统一不合并

Tormer_SENSA

   

黑豆peas 发表于 2025-11-27 14:43
share od是指合并还是统一不合并

share od就是合并呀

djc2zn

   

Tormer_SENSA 发表于 2025-12-4 15:28
share od就是合并呀

比例导致无法都合并得呢

Tormer_SENSA

   

djc2zn 发表于 2025-12-11 11:58
比例导致无法都合并得呢

如果无法合并 或者 Width不一样却强行合并的 都可以考虑分开。事实上 如果width不一样，合并是cover面积不够的下下策，除此之外没有任何好处。对于高精度匹配的管子，不合并的精度也是比合并的精度更高的。