UMC22nm dummy fill error

lhlbluesky

UMC22nm用了28nm的dummy fill command file，生成的dummy gds导进去，发现grid error，最小grid=0.001um，而实际版图的最小grid=0.005um，请问，
1）28nm的dummy command file中（*.dmc），在哪里设置shrink factor？
2）如何将最小grid从0.001改成0.005？
我找到如下位置：
VARIABLE rule_shrink_ratio 1.00 // layout x 100%,是在这里改ratio吗，=0.855？
VARIABLE eps  0.001 // 改成0.005依然有off-grid，生成dummy gds的最小grid还是0.001
VARIABLE keep_layout_window_space 1.100*rule_shrink_ratio // 这里的1.1什么意思，要不要改
3）dmc文件中，有一些地方的公式运算中出现了0.001，是不是意味着只能最小=0.001？

clean_space_for_FE_ghost_diff_block_CORE_a2= EXTENTS（SIZE clean_space_FE_ghost_diff_block_CORE_a1 BY 0.001)


以上，感谢。