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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › Analog Layout（版图） › Layout讨论区 › TSMC40nm-CG和CGCT这两层是什么
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查看: 590|回复: 2

[原创] TSMC40nm-CG和CGCT这两层是什么

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顾pp
发表于 2024-4-25 15:25:11 | 显示全部楼层 |阅读模式

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TSMC40nm工艺中的mask：CG（CGE-ETCH），CGCT（CGCT-ETCH)这两层的作用是什么？
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fengrlove
发表于 2024-4-25 16:21:27 | 显示全部楼层
design rule没有描述？
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andyfan
发表于 2024-4-25 16:32:34 | 显示全部楼层
感觉你是用了e-flash或者类似工艺，不是标准的CMOS工艺；


猜测CG是control gate
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