常用的180nm，65nm的CMOS工艺下电阻温度系数的问题

1oveyy

想要请教一下各位，在常用的180nm，65nm的工艺下，不同类型的电阻会工艺偏差会在同一个工艺角下吗？

比如常用的扩散三电阻和poly电阻，它们的阻值会向同一个方向偏吗？
仿真的时候大部分人的设置都是所有的res都在同一个corner下，那实际的情况呢？
感谢大家的解答！

Ztl-cmos

应该都是同一方向吧。