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[原创] 二级效应

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发表于 2024-4-10 14:27:18 | 显示全部楼层 |阅读模式

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小工艺为什么会基本忽略WPE带来的影响?
发表于 2024-4-10 14:46:28 | 显示全部楼层
之前在论坛上下的 不知道是否有帮助

先进工艺下的版图邻近效应研究进展_王英菲.pdf

1012.24 KB, 下载次数: 136 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

发表于 2024-4-10 14:52:42 | 显示全部楼层
不能忽略啊,可能有些数字部分会忽略垂直方向的wpe但是水平方向的wpe还是有的
 楼主| 发表于 2024-4-10 15:26:04 | 显示全部楼层


shakeehand 发表于 2024-4-10 14:52
不能忽略啊,可能有些数字部分会忽略垂直方向的wpe但是水平方向的wpe还是有的 ...


不是完全忽略,只是侧重点小了
 楼主| 发表于 2024-4-10 15:27:23 | 显示全部楼层


hxzjdbl 发表于 2024-4-10 14:46
之前在论坛上下的 不知道是否有帮助


OKOK 谢谢 我下载看看

发表于 2024-4-10 20:27:31 | 显示全部楼层
谢谢分享
发表于 2024-4-11 16:09:31 | 显示全部楼层
kankan
发表于 2024-8-27 11:06:39 | 显示全部楼层
kankan
发表于 2024-12-3 10:23:34 | 显示全部楼层
感谢,我也是想知道的
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