一个mim电容做metal change，改哪一层的影响最小

icliupengzhi123 · 发表于 2024-2-4 15:44:47

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一个MIM电容，由 AT WT MCT A3这几层构成。如果要改其中一张mask，除了A3不能动，改动哪一张mask是对电路或者从可靠性来讲哪一层是最合适的呢

castrader · 发表于 2024-2-4 16:39:08

只改1层，应该是不守规则的...

tea_whz · 发表于 2024-2-5 09:38:05

不太清楚你说的那几层在电容结构中的位置，但是如果你是想要改变一层layer来改变电容的大小的话，那只能改变MIM那一层（如图），而且很可能会违反DRC

icliupengzhi123 · 发表于 2024-2-5 10:55:25

tea_whz 发表于 2024-2-5 09:38
不太清楚你说的那几层在电容结构中的位置，但是如果你是想要改变一层layer来改变电容的大小的话，那只能改 ...

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结构是这样的，黄色部分是MCT，您的建议是去掉MCT这层mask么，去掉孔你感觉可以不

icliupengzhi123 · 发表于 2024-2-5 10:57:20

castrader 发表于 2024-2-4 16:39
只改1层，应该是不守规则的...

就只能改一层，改多了成本高了。就改一层，把这个电容特性去掉，就不想用这个电容。试过改孔，改过孔后，没有发现DRC问题。

icliupengzhi123 · 发表于 2024-2-5 10:58:38

tea_whz 发表于 2024-2-5 09:38
不太清楚你说的那几层在电容结构中的位置，但是如果你是想要改变一层layer来改变电容的大小的话，那只能改 ...

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，结构是这样的，黄色部分是MCT，您的建议是去掉MCT这一层么。改孔您觉得靠谱不呢

castrader · 发表于 2024-2-5 11:16:03

你还不如直接把MCT这层去掉呢，这样电容就没了，也没啥太大问题。你留着这层相当于在里面加了个浮动极板，没啥好处。

icliupengzhi123 · 发表于 2024-2-5 11:21:31

castrader 发表于 2024-2-5 11:16
你还不如直接把MCT这层去掉呢，这样电容就没了，也没啥太大问题。你留着这层相当于在里面加了个浮动极板， ...

有个问题 MCT没了但孔还在，孔在的话会把上极板和下级板连在一起，会短路。下级板必须要接地。不太行，

castrader · 发表于 2024-2-5 11:23:38

...................................
hehe
那就留着浮动metal吧

ZN0001 · 发表于 2024-2-5 11:56:33

把他断开不接不行嘛

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