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[原创] 电阻的匹配方式。

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发表于 2024-1-11 13:53:48 | 显示全部楼层 |阅读模式

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为什么5:电阻的匹配方式。
(1)      匹配的电阻需要是同一类型。
(2)      匹配的电阻需要是相同宽度,相同长度。
(3)      匹配的电阻仿制的位置要邻近(尽可能靠近,减少热电效应的影响)、方向一致。
(4)      匹配阵列中的电阻应采用插指状结构,两端放置DUMMY电阻器件。
                              
一个电阻阵列中各部分之间的互连能够产生很大的金属化诱发失配。图A中的电阻阵列显示了一种流行的互连结构,其各部分之间的跳线内折到电阻之上以节省面积,各电阻段上的金属覆盖量的不同会导致金属化诱发失配。图B中的电阻阵列显示了另一种互连方式,跳线外折可减小金属对电阻有源区的交叠量。即使已采取了通过加入虚拟金属线匹配内折阵列中各部分的金属覆盖量的措施,但是经验表明外折方式一般能够提供更好的匹配,向外折叠的阵列需要通孔,这些通孔要引入他们自己的失配。

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发表于 2024-1-11 14:39:11 | 显示全部楼层
学习
发表于 2024-1-11 15:20:44 | 显示全部楼层
学习
发表于 2024-2-5 16:04:48 | 显示全部楼层
感谢分享,对匹配精度高的电阻还是参考B类型的画法~~
发表于 2024-2-7 15:37:48 | 显示全部楼层
能请教下金属化诱发失配的原理是?

点评

氧化层-硅界面处有大量的带有正电荷的悬挂键,悬挂键的随机分布会引起阈值电压的随机波动,氢原子可以与悬挂键结合从而消除表面态,以达到减少阈值电压的变化的目的。 退火工艺的不完全,无法使得金属图形下方的氧化   发表于 2024-2-20 11:33
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