Seal Ring 的叠构

qifei.wang · 发表于 2024-1-5 17:13:10

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求助：请教一下大佬，Seal ring的层叠是跟芯片的层叠一致的吗？就是说在做前道AA、poly 这些的时候，相应的seal ring 也会做这些层次？

wojiaomeitounao · 发表于 2024-1-10 09:25:19

当然，都是同一层mask

GIDL · 发表于 2024-1-23 15:21:13

AA/POLY 这些patterning layer 都会有，然后形成一个封闭的保护环

qifei.wang · 发表于 2024-1-24 15:24:31

谢谢

jiangke199382 · 发表于 2024-2-7 09:37:10

应该是一样的

306170340 · 发表于 2024-6-22 16:16:20

一样，要不然达不到阻挡裂纹的作用。

lnxmj · 发表于 2024-7-2 21:52:25

感谢分享

hkb013415 · 发表于 2024-8-20 14:19:22

感谢分享

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