光刻胶力学性能参数

moby

在实际的晶圆生产过程中，不可避免的要利用其上边的光刻胶层实现一些其他功能，并非仅仅是光刻。
不知道哪位大佬有光刻胶在涂胶烘焙后，其成片上光刻胶表现出来的力学性能？如硬度，弹性模量等？或者能提供途径可去实际测量？
谢谢