tsmc180nm提取MIM电容寄生参数，XACT和XRC提取结果差别很大？

晬婴

小弟最近在使用tsmc180nm的MIM电容，对MIM电容进行PEX提取寄生参数。先调用一个库里10u×10u的MIM电容，模型自带电容206.3fF。版图里其他连线都不加，直接在上下极板打pin，提取上下极板的寄生电容



选择XACT和XRC提取出来的上下极板之间的寄生差别很大，XACT提出来有20f，XRC提出来只有3f，

按我的理解XACT应该是更高精度的提取，可是上下极板之间的寄生会有20fF，感觉有点儿大，XACT和XRC哪个才更接近实际情况呢？谢谢大家~

BJTUWKF

蹲一个大佬回复

lhgsgtc

我的建议是使用XRC的结果，毕竟XRC Runset开发和release基于的是silicon data，XACT是基于drawn layout和3D物理结构的，尺寸和dielectric constant和实际是有差异的

晬婴

   

lhgsgtc 发表于 2023-12-15 13:17
我的建议是使用XRC的结果，毕竟XRC Runset开发和release基于的是silicon data，XACT是基于drawn layout和3D ...

哇，感谢您的回复！那按您的意思XACT其实并不准确吗？还是说只是在提MIM的寄生参数时候XACT不准？在其他时候XACT也不如XRC吗？
您说"XRC基于silicon data"而“XACT基于drawn layout和3D物理结构”，silicon data是指什么呢？小弟从字面上理解XACT看起来更高级，为什么它的尺寸和dielectric constant与实际有差异呢？
谢谢您~
（小弟对这方面不太懂，大佬别介意~）

omityoung

把device打散 去掉mim识别层， 再进行对比

晬婴

   

omityoung 发表于 2023-12-15 14:37
把device打散 去掉mim识别层， 再进行对比

您好，我试了，去掉MIM识别层，提取结果几乎不变~，您有什么建议吗，谢谢您

                               
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YyuanRTs

差这么多应该信模型了

mikelxy

楼主大哥 我想要t18的手册学习 请问您联系方式是多少？

晬婴

   

YyuanRTs 发表于 2023-12-15 20:48
差这么多应该信模型了

您好，请问您说的信模型是指什么模型~

YyuanRTs

   

晬婴 发表于 2023-12-17 13:25
您好，请问您说的信模型是指什么模型~

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