SMIC40工艺下，版图中M1金属密度明显很低的情况下，DRC报错说M1金属密度超过85%

调皮捣蛋

我在用SMIC40工艺画版图的时候，DRC报错

M1maximum density (%) in 125um *125um window with step size 62.5um is 85%以及
M1 maximum density(%) with 840um*840um window is 70%
以下是我版图部分的截图

图中全部都是M1金属，可以看到M1金属密度明显不可能达到85%，但DRC依旧报错，请问是什么原因？
图片中外围的模块都是一些数字电路子模块，内含一些晶体管；中间都是一些M1金属一列列的走线，除M1外没有其他层。
是不是我对density的理解有什么误区呢？

ZN0001

他是125um*125um，你点一下看是那个位置，然后用tool里面的工具自己看一下报错那方块里的密度

note30933

step size 62.5um is 85%

调皮捣蛋

ZN0001 发表于 2023-12-15 09:31
他是125um*125um，你点一下看是那个位置，然后用tool里面的工具自己看一下报错那方块里的密度 ...

点击相应错误，版图上显示的是很大一个框，这个框覆盖了我整个版图，没办法知道哪个窗口密度超标。density calculator做了，最密集的两侧M1密度也不过40%，不知道为何它说125umx125um窗口内会有密度超标的情况

Arno93

有撒dummy吗  如果撒了  算density都要算进去的

yetingyu

smic40定义检查密度是M1i_all = M1i or M1DUM , 看下有没有撒dummy

调皮捣蛋

yetingyu 发表于 2023-12-15 13:44
smic40定义检查密度是M1i_all = M1i or M1DUM , 看下有没有撒dummy

没有dummy，我截图中已经是全部M1图案了

我后来看了一下，DRC说我M1密度超过100%了，原因是DRC将M1面积除以AA_14a_a面积的比率算作是M1密度，我不太清楚符合什么条件的区域才算是AA_14a_a区域

上图是某一区域的density报告，这个窗口内有效的AA_14a_a区域比M1面积还小，所以密度大于100%，不是很懂为什么要这样算密度

caca29

调皮捣蛋 发表于 2023-12-15 13:55
没有dummy，我截图中已经是全部M1图案了

我后来看了一下，DRC说我M1密度超过100%了，原因是DRC将M1面积除 ...

看一下你layout中有没有BORDER那一层

调皮捣蛋

caca29 发表于 2023-12-15 14:46
看一下你layout中有没有BORDER那一层

有的有的，是不是border规定了芯片边界，导致金属密度过大呀？

这个全是版图上的border，因为这些子模块本身含有border

---------------------------------------------------------------------------
谢谢大佬的一阵见血，给整版加上border框后，M1密度从大于85%变成小于10%了，感谢感谢