CMOS 工艺晶圆存放时间

qifei.wang · 发表于 2023-11-14 11:30:22

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CMOS 工艺的晶圆密封存放时间大概是多久？如果测完CP呢？可以存放多久？

如果Al PAD 表面氧化了，有什么去氧化方法吗？

isaka · 发表于 2023-11-14 11:44:49

你这个实际不好操作，不适合批量操作，单颗可以试试

FDMTEK · 发表于 2023-11-24 09:16:10

抽真空后放氮气柜，理论上36个月没有问题

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