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[求助] HHW65n华虹PAD

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发表于 2023-10-27 09:59:04 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请问华宏的PAD是怎么做的有哪几层Layer构成,规则是怎样的,我这边能找到MTT,RV ,RDL,CB,ALPAD,PA,    根据结构来看RDL和ALPAD是同一层,我研究了下CB和ALPAD和PA貌似是用来做PAD用的,   但是具体怎么做还是没有头绪,试做了几个不能过DRC,求用过这工艺的大佬指导下。
发表于 2023-10-27 10:13:40 | 显示全部楼层
去看工艺文档,要么写在design rule里面,要么用专门的文档总结的,CB就是PAD开窗
 楼主| 发表于 2023-10-27 10:20:58 | 显示全部楼层


一个大牛子 发表于 2023-10-27 10:13
去看工艺文档,要么写在design rule里面,要么用专门的文档总结的,CB就是PAD开窗 ...


大哥,我看了文档,没有直接说明PAD是怎么做的,我看CB是Passivation1 open widoww for bonding pad,  PA是Passivation, 如果CB用于开窗,那么PA的作用是什么,
发表于 2023-10-27 11:21:00 | 显示全部楼层
我也想知道这个
发表于 2023-10-27 11:43:27 | 显示全部楼层


David.Z 发表于 2023-10-27 10:20
大哥,我看了文档,没有直接说明PAD是怎么做的,我看CB是Passivation1 open widoww for bonding pad,  PA ...


PA是钝化层的意思,就是没有开窗
发表于 2023-10-27 14:36:56 | 显示全部楼层
PA应该是类似和RV一样的
发表于 2023-10-29 13:10:48 | 显示全部楼层
他家的工艺应该好理解的,如果实在搞不定, 他们的技术支持是很好沟通的
 楼主| 发表于 2023-10-30 10:56:25 | 显示全部楼层
研究了一下,以前没用过两层钝化层的工艺,这个工艺好像是CB是第一层钝化层开窗,ALPAD是自带第二层开窗的铝层,所以PAD应该是TOP METAL + CB +ALPAD,但是DRC会有一个错误提示METAL slot :except metal pad region.  不知道这个错误是可以解决的,还是如果是pad regio就waive掉不管它。
 楼主| 发表于 2023-11-16 10:28:28 | 显示全部楼层


文中止不住 发表于 2023-10-27 11:43
PA是钝化层的意思,就是没有开窗


你好,我看了工艺描述上PA:Passivation,然后后面地内容又说PA是Passivation Open,这工艺怎么写的东西自相矛盾了,还有我看又有人说PA:Passivation其实就是钝化层开口的意思,能详细给我解释下吗?谢谢
发表于 2023-11-21 16:08:21 | 显示全部楼层
alpa 应该是钝化铝 是覆盖在顶层金属之上的金属 pa 是连接顶层金属和alpa的孔
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