HHW65n华虹PAD

David.Z · 发表于 2023-10-27 09:59:04

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请问华宏的PAD是怎么做的有哪几层Layer构成，规则是怎样的，我这边能找到MTT,RV ,RDL,CB,ALPAD,PA, 根据结构来看RDL和ALPAD是同一层，我研究了下CB和ALPAD和PA貌似是用来做PAD用的，但是具体怎么做还是没有头绪，试做了几个不能过DRC，求用过这工艺的大佬指导下。

一个大牛子 · 发表于 2023-10-27 10:13:40

去看工艺文档，要么写在design rule里面，要么用专门的文档总结的，CB就是PAD开窗

David.Z · 发表于 2023-10-27 10:20:58

一个大牛子发表于 2023-10-27 10:13
去看工艺文档，要么写在design rule里面，要么用专门的文档总结的，CB就是PAD开窗 ...

大哥，我看了文档，没有直接说明PAD是怎么做的，我看CB是Passivation1 open widoww for bonding pad, PA是Passivation，如果CB用于开窗，那么PA的作用是什么，

农民赵 · 发表于 2023-10-27 11:21:00

我也想知道这个

文中止不住 · 发表于 2023-10-27 11:43:27

David.Z 发表于 2023-10-27 10:20
大哥，我看了文档，没有直接说明PAD是怎么做的，我看CB是Passivation1 open widoww for bonding pad, PA ...

PA是钝化层的意思，就是没有开窗

linxishiguang · 发表于 2023-10-27 14:36:56

PA应该是类似和RV一样的

xxd2000li · 发表于 2023-10-29 13:10:48

他家的工艺应该好理解的，如果实在搞不定，他们的技术支持是很好沟通的

David.Z · 发表于 2023-10-30 10:56:25

研究了一下，以前没用过两层钝化层的工艺，这个工艺好像是CB是第一层钝化层开窗，ALPAD是自带第二层开窗的铝层，所以PAD应该是TOP METAL + CB +ALPAD，但是DRC会有一个错误提示METAL slot ：except metal pad region. 不知道这个错误是可以解决的，还是如果是pad regio就waive掉不管它。

David.Z · 发表于 2023-11-16 10:28:28

文中止不住发表于 2023-10-27 11:43
PA是钝化层的意思，就是没有开窗

你好，我看了工艺描述上PA：Passivation，然后后面地内容又说PA是Passivation Open，这工艺怎么写的东西自相矛盾了，还有我看又有人说PA：Passivation其实就是钝化层开口的意思，能详细给我解释下吗？谢谢

Andyou · 发表于 2023-11-21 16:08:21

alpa 应该是钝化铝是覆盖在顶层金属之上的金属 pa 是连接顶层金属和alpa的孔

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