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查看: 1126|回复: 10

[求助] 自己画的MOM电容怎么确定mismatch

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发表于 2023-10-7 16:57:05 | 显示全部楼层 |阅读模式

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想请假大佬们自己画的MOM电容怎么确定mismatch
发表于 2023-10-7 17:04:52 | 显示全部楼层
我也很好奇这个问题,同问
发表于 2023-10-7 17:21:51 | 显示全部楼层
A 26μW 8 bit 10 MS/s Asynchronous SAR ADC for Low Energy Radios
参考这篇2010年的JSSC,可以使用同面积的MIM电容来估算失配,这样做结果偏保守
更先进的办法是使用定制的仿真工具考虑line edge roughness,但需要更多的工艺数据
 楼主| 发表于 2023-10-7 18:35:15 | 显示全部楼层


2sc3357 发表于 2023-10-7 17:21
A 26μW 8 bit 10 MS/s Asynchronous SAR ADC for Low Energy Radios
参考这篇2010年的JSSC,可以使用同面 ...


感谢解答
有些工艺像28nm根本没有MIM电容,可能就不那么好评估了。
想请教下定制的仿真工具是啥,哪里可以找到使用呐?
发表于 2023-10-7 19:08:40 | 显示全部楼层
FAB里面需要都需要专门的人去画各种结构,然后做模型。

你自己搞,只能简单估算,会很不准。
发表于 2023-10-8 09:16:35 | 显示全部楼层


肚腩皓 发表于 2023-10-7 18:35
感谢解答
有些工艺像28nm根本没有MIM电容,可能就不那么好评估了。
想请教下定制的仿真工具是啥,哪里可 ...


fab自己应该由mom电容的模型,有的叫法不一样,比如叫fringe cap。

实在没有,可以找别的fab的28nm工艺的mom电容模型,如果间距、线宽是一样的,那就可以用来估算。
 楼主| 发表于 2023-10-8 13:41:03 | 显示全部楼层


imefox 发表于 2023-10-8 09:16
fab自己应该由mom电容的模型,有的叫法不一样,比如叫fringe cap。

实在没有,可以找别的fab的28nm工艺 ...


感谢
工艺库会有MOM的电容值对应的相对失配。
我还有一个疑问:比如工艺提供的MOM最小是2fF,我自己画的是0.5fF,那么这个拟合的函数是否还准确?



                               
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发表于 2023-10-11 10:35:10 | 显示全部楼层


肚腩皓 发表于 2023-10-8 13:41
感谢
工艺库会有MOM的电容值对应的相对失配。
我还有一个疑问:比如工艺提供的MOM最小是2fF,我自己画的是 ...


还是尽量参照fab的规则吧。真想要做0.5f,你可以用4个2f串联。
发表于 2023-10-11 10:47:42 | 显示全部楼层


imefox 发表于 2023-10-11 10:35
还是尽量参照fab的规则吧。真想要做0.5f,你可以用4个2f串联。


串联,中间节点不是floating的高阻节点了吗,不理解为啥要干这种事。  
发表于 2023-10-11 10:53:04 | 显示全部楼层
本帖最后由 nanke 于 2023-10-11 10:58 编辑

选0.5fF本身就是为了面积小,电流小。4个2fF串联,来和2fF电容匹配问题也很多,画法不一致带来更多问题。 还不如用0.5fF。有很多论文研究怎么把电容匹配画好,主要是周边环境要一样,而且放得够近。
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