版图知识

有芯人 · 发表于 2023-8-30 08:31:14

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各位大神，有知道什么是slot孔吗？求解答·

stonelenty · 发表于 2023-8-30 08:39:22

slot是给金属线开槽，避免版图中形成过宽或面积过大金属。
Metal slot 规则是为了减少应力造成的影响，Metal slot 是为了缓解 Metal 和 IMD (金属层之间介电质)的膨胀系数之差避免 Metal 鼓包的，金属鼓包会影响上层和下层金属连线，导致短路，metal slot 同时对EM也有好处。
如果需要流过很大电流,则需要很宽的金属,一般工艺规则都会规定最大金属宽度,最大的金属宽度是要防止电流不均匀导致电迁移以及发热不均匀的问题,还有热胀冷缩,此外,过宽的金属会使得中间部分略有下沉导致平坦化的问题,所以需要在过宽金属上打 slot。

zxdqfranks · 发表于 2023-8-30 10:59:47

二楼回答的很专业，顶一个。我的理解是比如M3和M3 SLOT图层放一起，用tools里面的layer generation功能可以更高效率的掏孔，而不用手动chop掏孔。需要掏孔是因为宽金属走电流会有趋肤效应，导致电流走金属线的表面和边缘，电流不均匀。还有电迁移效应，高温，应力等等，可能导致短路，断路的风险，所以要开slot来避免这些。

有芯人 · 发表于 2023-9-8 08:46:30

感谢各位大神的解答，学到了

Wesevan · 发表于 2023-9-8 14:48:06

学到了！

lay_01 · 发表于 2023-11-3 16:01:20

学到了顶一个

W1508038 · 发表于 2023-11-3 16:58:12

zxdqfranks 发表于 2023-8-30 10:59
二楼回答的很专业，顶一个。我的理解是比如M3和M3 SLOT图层放一起，用tools里面的layer generation功能可以 ...

请问如何用layer generation掏孔？

季夏二十五 · 发表于 2023-11-6 17:33:49

W1508038 发表于 2023-11-3 16:58
请问如何用layer generation掏孔？

我是这么理解的，你可以试一下

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娜维娅 · 发表于 2024-6-18 14:03:57

zxdqfranks 发表于 2023-8-30 10:59
二楼回答的很专业，顶一个。我的理解是比如M3和M3 SLOT图层放一起，用tools里面的layer generation功能可以 ...

想问一下，tool~>layer generation 怎么掏孔，我这只能往外生长

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gxc_cjgs · 发表于 2024-6-19 11:44:22

娜维娅发表于 2024-6-18 14:03
想问一下，tool~>layer generation 怎么掏孔，我这只能往外生长

AND NOT 不就行了，你的shape和你要挖的solt 图形与非一下，就得到了

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