版图中高层金属生产时的工艺问题

这个包子有点冷 · 发表于 2023-8-29 11:51:06

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本帖最后由这个包子有点冷于 2023-8-29 12:00 编辑

如题，我在看一个芯片的提取版图时注意到高层金属只占了很少的一部分，工厂在生产的时候是否用dummy来填充了这一层呢，不然只有很少的一部分这一层金属不会塌吗，很疑惑

maomao198477 · 发表于 2023-8-29 12:27:41

满足DRC 要求就可以

haoren007 · 发表于 2023-8-29 13:11:37

各层金属密度在30%~70%之间，太高或过低都会有风险，最好满足厂家要求，不然出了问题自己负责

이지은 · 发表于 2023-8-29 14:51:06

drc有density问题啊，出gds肯定要润dummy的

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