有关环栅的问题，求大佬解惑

一笑y · 发表于 2023-8-4 10:12:59

自己画的连接处是2um 正方形长宽是6，里面打孔的长宽是2，这种要怎么画，宽度要如何计算，求大佬解惑

现在这个跑出来LVS是98um

土肥圆的Alice · 发表于 2023-8-4 11:04:21

不清楚，等答案。。或许和识别层有关？

一笑y · 发表于 2023-8-4 11:31:50

这是在深N阱里面做的，单个加延伸LVS跑出来w是17um，不知道是不是和里面连接处有关系

一笑y · 发表于 2023-8-4 11:33:50

一笑y 发表于 2023-8-4 11:31
这是在深N阱里面做的，单个加延伸LVS跑出来w是17um，不知道是不是和里面连接处有关系 ...

这个是单个的

poly_lq · 发表于 2023-8-4 14:00:51

简单的估算应该沿gate中心去量，单个值应该是16；但这个值也是不正确的，17也不正确

一笑y · 发表于 2023-8-4 16:38:49

我想了一下，生效的应该只有正方形那一块，连接处应该是不生效的，那就是16×6=96，不知道为什么把从active连出来的这一段给算上了，1边算了1um。应该是工艺LVS检查对这种环栅器件算法上不支持

土肥圆的Alice · 发表于 2023-8-4 17:18:12

一笑y 发表于 2023-8-4 16:38
我想了一下，生效的应该只有正方形那一块，连接处应该是不生效的，那就是16×6=96，不知道为什么把从active ...

建议每一层打开看一下

一笑y · 发表于 2023-8-4 17:30:51

poly识别只和active area 有关，没必要每层都看

土肥圆的Alice · 发表于 2023-8-4 18:17:00

一笑y 发表于 2023-8-4 17:30
poly识别只和active area 有关，没必要每层都看

那就不知道了，等大神来解答了，我第一次见环栅的问题，考虑的不全面。可以看一下design rule有没有相关剖面图或者看一下lvs验证文件识别环栅W值的问题。

土肥圆的Alice · 发表于 2023-8-11 16:06:09

问题解决没？

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