最近用华虹90nm 的BCD工艺，发现最小栅长是120nm，那它指的90nm是什么的宽度？

onlyzjj · 发表于 2023-8-1 15:49:33

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

如标题

李幕白 · 发表于 2023-8-1 15:55:00

可能是等比例缩小? 我做28的， gate最小30

hzyf · 发表于 2023-8-1 16:57:43

一般是DRC规定的最小poly宽度吧，虽然不可以用这个最小宽度做管子，但是可以用来连线

嘟嘟大白菜 · 发表于 2023-8-1 17:08:15

也有可能是接触孔的宽度。这个数字不一定代表poly的宽度。

onlyzjj · 发表于 2023-8-1 17:54:12

李幕白发表于 2023-8-1 15:55
可能是等比例缩小? 我做28的， gate最小30

有可能是，但是没有找到这个“系数”之前的工艺都是0.9，我这个都是0.75了

onlyzjj · 发表于 2023-8-1 17:56:21

hzyf 发表于 2023-8-1 16:57
一般是DRC规定的最小poly宽度吧，虽然不可以用这个最小宽度做管子，但是可以用来连线 ...

poly的最小宽度也是120的，可能是在加工的时候有个放大缩小的系数，等着HH技术人员解答

onlyzjj · 发表于 2023-8-1 17:58:06

嘟嘟大白菜发表于 2023-8-1 17:08
也有可能是接触孔的宽度。这个数字不一定代表poly的宽度。

有可能，感谢你的回复，DRC文件里有个最小space是90nm的

xiaowanzi88 · 发表于 2023-8-7 18:11:33

金属线间距最小90nm, 这套所谓90nm BCD是专业忽悠外行,捧领导马屁的. 其实和他家的350BCD 差距不大.

onlyzjj · 发表于 2023-8-8 09:35:56

xiaowanzi88 发表于 2023-8-7 18:11
金属线间距最小90nm, 这套所谓90nm BCD是专业忽悠外行,捧领导马屁的. 其实和他家的350BCD 差距不大. ...

刺激，果然是大家开心就好

[求助] 最近用华虹90nm 的BCD工艺，发现最小栅长是120nm，那它指的90nm是什么的宽度？