讨论一下dummy阶段DOMA的作用

linxishiguang · 发表于 2023-7-22 22:37:25

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是做曝光校准的吗，具体作用是什么，如果删除了会怎么样？

李幕白 · 发表于 2023-7-24 09:35:44

这是一个layer吗？什么工艺的？有更多的信息吗？

linxishiguang · 发表于 2023-7-24 09:42:23

李幕白发表于 2023-7-24 09:35
这是一个layer吗？什么工艺的？有更多的信息吗？

已经知道了，和t家TCD一个用途

yqy123 · 发表于 2023-7-24 09:46:20

linxishiguang 发表于 2023-7-24 09:42
已经知道了，和t家TCD一个用途

可以简单的介绍一下吗

linxishiguang · 发表于 2023-7-24 13:33:40

yqy123 发表于 2023-7-24 09:46
可以简单的介绍一下吗

芯片面积较大时，每个范围内需要一些光学校准层，对光刻进行校准。能提高良率。可以pr添加，也可以dum脚本run出。

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