请教各位大佬，DTI可以完全隔离两个不同电位的N管吗

zxdqfranks · 发表于 2023-7-20 08:51:02

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DTI可以完全隔离两个不同电位的N管吗？

realgb · 发表于 2023-7-20 09:18:12

不同电位需要各自有完整隔离环

zxdqfranks · 发表于 2023-7-20 09:21:18

realgb 发表于 2023-7-20 09:18
不同电位需要各自有完整隔离环

因为我现在的项目design rule描述很少，想明确一下DTI是否可以隔开两个不同电位的p型衬底

843071455 · 发表于 2023-8-1 11:53:14

zxdqfranks 发表于 2023-7-20 09:21
因为我现在的项目design rule描述很少，想明确一下DTI是否可以隔开两个不同电位的p型衬底 ...

什么工艺？只靠DTI应该是不行的，应该加上nbl之类的才能隔开。

qwoors · 发表于 2023-8-1 13:30:58

Foundry design rule里对DTI的描述是saving by isolation rule shrink, suppressing parasitic bipolar and improving isolation BV, 不是用来隔WELL的结构。

zxdqfranks · 发表于 2023-8-4 17:46:59

843071455 发表于 2023-8-1 11:53
什么工艺？只靠DTI应该是不行的，应该加上nbl之类的才能隔开。

SOI工艺

zxdqfranks · 发表于 2023-8-4 17:54:25

qwoors 发表于 2023-8-1 13:30
Foundry design rule里对DTI的描述是saving by isolation rule shrink, suppressing parasitic bipolar and ...

design rule里面对DTI定义就是深沟槽隔离，工艺是SOI

843071455 · 发表于 2023-8-5 06:59:05

zxdqfranks 发表于 2023-8-4 17:46
SOI工艺

如果soi的工艺可能是可以的，没用过这家工艺，不过应该和我发的图片类似，如果是这样的结构应该就可以。

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