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查看: 1292|回复: 8

[求助] DTI隔离的管子可以把每个管子的DTI去掉,然后整体框一个大的DTI环吗?

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发表于 2023-7-19 11:43:44 | 显示全部楼层 |阅读模式

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DTI隔离的管子可以把每个管子的DTI去掉,然后整体框一个大的DTI环吗?
download.png
发表于 2023-7-19 14:19:46 | 显示全部楼层
可以看看rule
 楼主| 发表于 2023-7-20 08:53:55 | 显示全部楼层


rule里面没有详细写,VIS工艺的
发表于 2023-7-20 09:13:21 | 显示全部楼层
可以改F  不更直接吗
发表于 2023-7-20 09:15:32 | 显示全部楼层
相同衬底的话,可以的
发表于 2023-8-4 11:23:10 | 显示全部楼层
本帖最后由 Albert_z 于 2023-8-4 14:57 编辑

1691119276536.jpg

理论上,S/B端的电位一致时,D 端电位也相同的时候,可以合并器件,但是DTI层最后还是需要的。
发表于 2023-8-4 14:20:47 | 显示全部楼层


Albert_z 发表于 2023-8-4 11:23
理论上,S/B端的电位一致时,可以合并器件,但是STI层最后还是需要的。


STI和DTI是一样的吗
发表于 2023-8-4 14:52:31 | 显示全部楼层


richardlee 发表于 2023-8-4 14:20
STI和DTI是一样的吗


STI是指浅槽隔离,DTI是指深槽隔离。
 楼主| 发表于 2023-8-4 17:45:38 | 显示全部楼层


Albert_z 发表于 2023-8-4 11:23
理论上,S/B端的电位一致时,D 端电位也相同的时候,可以合并器件,但是DTI层最后还是需要的。
...


这个是BCD工艺的DTI,请问SOI工艺的DTI可以这样处理吗
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