DTI隔离的管子可以把每个管子的DTI去掉，然后整体框一个大的DTI环吗？

zxdqfranks · 发表于 2023-7-19 11:43:44

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8911 · 发表于 2023-7-19 14:19:46

可以看看rule

zxdqfranks · 发表于 2023-7-20 08:53:55

8911 发表于 2023-7-19 14:19
可以看看rule

rule里面没有详细写，VIS工艺的

mengxueyilei · 发表于 2023-7-20 09:13:21

可以改F 不更直接吗

realgb · 发表于 2023-7-20 09:15:32

相同衬底的话，可以的

Albert_z · 发表于 2023-8-4 11:23:10

本帖最后由 Albert_z 于 2023-8-4 14:57 编辑

理论上，S/B端的电位一致时，D 端电位也相同的时候，可以合并器件，但是DTI层最后还是需要的。

richardlee · 发表于 2023-8-4 14:20:47

Albert_z 发表于 2023-8-4 11:23
理论上，S/B端的电位一致时，可以合并器件，但是STI层最后还是需要的。

STI和DTI是一样的吗

Albert_z · 发表于 2023-8-4 14:52:31

richardlee 发表于 2023-8-4 14:20
STI和DTI是一样的吗

STI是指浅槽隔离，DTI是指深槽隔离。

zxdqfranks · 发表于 2023-8-4 17:45:38

Albert_z 发表于 2023-8-4 11:23
理论上，S/B端的电位一致时，D 端电位也相同的时候，可以合并器件，但是DTI层最后还是需要的。
...

这个是BCD工艺的DTI，请问SOI工艺的DTI可以这样处理吗

[求助] DTI隔离的管子可以把每个管子的DTI去掉，然后整体框一个大的DTI环吗？