tsmc 65 metal density的问题

WZ1001 · 发表于 2023-7-6 16:58:34

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大佬们，如图台积的mental density 规则里面第一条说检查density的时候是划出75 * 75的区域然后以37.5的步进去一步步检查，但是第六条又说了第一条的适用条件是“the width of (checking window NOT item 3)大于等于18.75”，我不太清楚这个checking window的范围是多少，如果是75 * 75 那怎么会存在大于18.75的条件不适用的时候呢，有没有大佬能够给我解惑

XXHHJJ · 发表于 2023-7-6 16:58:35

你说的是第四条吧，他说的是适用于大于等于18.75um的情况，意思可能是以75x75的area查完之后还剩下小于18
.75um的范围就不去check了

WZ1001 · 发表于 2023-7-10 10:14:45

自顶

WZ1001 · 发表于 2023-7-10 20:03:46

XXHHJJ 发表于 2023-7-10 17:06
你说的是第四条吧，他说的是适用于大于等于18.75um的情况，意思可能是以75x75的area查完之后还剩下小于18
. ...

我想当然当成整芯片的check了，模块级的话有可能边界没有四四方方，所以有些多边区域留出来是有可能的，感谢给我启发

zyh10.12 · 发表于 2023-7-17 20:34:06

请问这个文件是什么呀，我也在做这个工艺，但是没看到这个文档

WZ1001 · 发表于 2023-9-22 17:33:13

zyh10.12 发表于 2023-7-17 20:34
请问这个文件是什么呀，我也在做这个工艺，但是没看到这个文档

文件就是DRC的RULE啊，跑DRC的时候第一个窗口有个view按键，点了就能看了；或者去对应的工艺文档下面翻，一般路径是tsmc/CRN65NM/calibre/drc这边，找到相应规则文件打开看就行了

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