HFSS 电感仿真

940360102 · 发表于 2023-7-3 17:56:33

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

各位大佬，最近在学用HFSS仿真电感，仿真的L值总是偏大一点，各位有知道一般是什么原因吗？
具体是把PDK里的电感模型，通过GDS导入到HFSS里，用HFSS的3D layout,然后自己根据工艺文档编写仿真的那些层的厚度，介电常数信息。然后去仿真，现在怀疑是层设置有问题，仿真的是2nH的电感，最后仿真结果是2.4nH，偏大了0.4nH，看别人都说HFSS仿真挺准的。

用的是smic40nm的工艺，40RF_1P10M_8lc_1TMc_MTTc_ALPA1,以下是我编写的HFSS layout示意图，不太确定是不是这里出了问题还是别的设置有问题

andyfan · 发表于 2023-7-3 21:15:12

我不懂电感仿真，但是看你图里面的工艺文件的图，有点过于简单。实际金属之间还有介质，而且构成有阻挡层金属层等好几层构成的，我不知道是不是这个你写简单了造成的。下面是我直接工艺ITF文件截取的，T的 40的；S家应该类似。很明显M6和M5之间不是一个V5就能概括的。你好多层金属之间的dielectric我都没看到，不知道是图不完整，还是你没写全。

DIELECTRIC IMD6a    {THICKNESS=0.665000 ER=4.2 }
DIELECTRIC IMD5c    {THICKNESS=0.075000 ER=8.1 }
DIELECTRIC IMD5b {THICKNESS=0.150000 ER=2.55 DAMAGE_THICKNESS=0.01 DAMAGE_ER=3.1 }
CONDUCTOR metal5 {THICKNESS= 0.150000
SIDE_TANGENT = 0.100000
POLYNOMIAL_BASED_THICKNESS_VARIATION {
      DENSITY_POLYNOMIAL_ORDERS  { 4, 3, 2, 1, 0 }
      WIDTH_POLYNOMIAL_ORDERS  { 4, 3, 2, 1, 0 }
      WIDTH_RANGES {0.113 4.0500}