制造工艺书籍：萧宏_Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology

PN_Allen

Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology，中文版叫半导体制造技术导论
萧宏大佬的书，论坛里有这门课的PPT，但是没发现原版书籍。

这本书虽然已经问世多年，我觉得现在依然没有过时，常看常新（FinFET工艺除外），而且相当贴近fab的实际工艺。
中文翻译版书名是半导体制造技术导论，杨银堂教授和段宝兴教授译。相比英文原版有一点删减。
全书分15章，目录如下：

                               
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附上论坛相应PPT链接：
半导体制造工艺的ppt----Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology - 生产/封装资料区 - EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网) -

rnysun

thanks

PN_Allen

14章是具体的工艺流程，按照年代发展讲的很详细

yitcxgy

很好的资料，中文版删减太严重了，而且校对问题比较多，给阅读造成了一定的困难。

313949724

谢谢

lans0625

谢谢分享

STGN

感谢分享

andyfan

多谢分享

STGN

感谢感谢

dannymu

谢谢