样片HBM ESD测试出现某些pad对地短路

menghahameng · 发表于 2023-5-17 11:46:26

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芯片样片在HBM测试时，出现VBAT的PAD对地短路，其中VBAT的IO是定制的，但是前期做过perc的检查没有什么大问题，求助有经验的大佬指教一下可能会是什么问题。

u12u34 · 发表于 2023-5-17 14:20:27

正常上电不短路 HBM测试时短路？HBM测试应该是MK2+MK4基台这个基台只能看出来ESD有没有达标，没有IV曲线是怎么看出短路的？是打的TLP吗?这个短路具体指的什么?如果正常上电不短路一打HBM就短路，说明你这个设计很成功啊，完美区分了信号和静电。

menghahameng · 发表于 2023-5-19 15:29:33

u12u34 发表于 2023-5-17 14:20
正常上电不短路 HBM测试时短路？HBM测试应该是MK2+MK4基台这个基台只能看出来ESD有没有达标，没有IV曲线是 ...

噢噢对对，是HBM测试ESD没达标，这种情况下是只能说是设计的泄放回路不够是吧，虽然我看电路上不仅有很大的power clamp，还有一个VBAT到VSS的反向二极管，已经做了很大的防ESD设计。

tlmlbr · 发表于 2023-5-19 19:27:14

ESD debug，查查看设计的ESD管能过多少HBM，fab提供的会有相关说明，用2KV的尺寸测试4KV肯定不行。尽量保证ESD 不偷rule。此外，可以顺着PAD信号追踪连接点，看看哪里薄弱，如保护管设计是否正确，高压保护管可保护不了低压，内部器件防护有没有做到位等等

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