mim电容连接问题

houlang

还请大家帮忙看一下，我在画电容版图的时候遇到了以下两个问题迟迟找不出解决办法。

这是我画的mim15电容，我需要画一个5p左右的电容，所以需要9个mim15电容并联。用到了金属5层mim层和金属6层，我不知道我这样画是否正确，还请大佬指导一下。

maomao198477

你这不是短接了？

houlang

maomao198477 发表于 2023-4-24 09:12
你这不是短接了？

没有吧，我是用金属6分别将9个mim电容VDD和GND连接起来，左右侧的金属线5距离是够的，在电容区域不含金属5层以下的金属层

李幕白

是不是左右两条线离电容太近了。电容的其他层有全都打开嘛/

houlang

李幕白 发表于 2023-4-24 14:44
是不是左右两条线离电容太近了。电容的其他层有全都打开嘛/

左右金属线5距离电容金属5层有1.5u距离，距离电容mim层有1.9u的距离，这距离不知道有没有问题（用的.13工艺）。请问一下电容其他层全部打开什么意思？

李幕白

houlang 发表于 2023-4-24 15:42
左右金属线5距离电容金属5层有1.5u距离，距离电容mim层有1.9u的距离，这距离不知道有没有问题（用的.13工 ...

就是打孔啊连接先都得在识别层外面，你说的1.5U啊其实这个数据告诉我没有意义，应该参考是否是在识别层外，识别层就是我说的其他层。（不同工艺不一样，可能你这的电容确实没有那个识别层）不管怎样，如果你把连接线那些拉更远一点是否有助于判断错误。

houlang

李幕白 发表于 2023-4-24 16:13
就是打孔啊连接先都得在识别层外面，你说的1.5U啊其实这个数据告诉我没有意义，应该参考是否是在识别层 ...

你提到的标识层应该是MIMDMY层吧
“MIMDMY is the DRC marking layer for active MIM, which must not include dummy MIM.”
这层我是有的，打孔都是在MIMDMY层外面。我刚刚试了一下重新将电容从schematic转成layout这两个问题依旧存在（在没连线的情况下），是不是我电容本身就有问题啊

李幕白

houlang 发表于 2023-4-24 16:50
你提到的标识层应该是MIMDMY层吧
“MIMDMY is the DRC marking layer for active MIM, which must not in ...

重新试的时候还是15个这么靠近嘛？还是调用的一个？

houlang

李幕白 发表于 2023-4-24 17:05
重新试的时候还是15个这么靠近嘛？还是调用的一个？

在schematic中设置参数如下

在layout中生产版图如下：

错误中提到的  MIM region  是指MIM层不是MIMDMY层对吧（MIM层边沿到金属5层左右下边沿的确是0.4，唯独到上边沿是2.06）
在不连线的情况下run DRC，那两个错误依旧存在，我在想是不是他自动生成的版图本身就有问题？第一次画版图不怎么懂

李幕白

houlang 发表于 2023-4-24 18:52
在schematic中设置参数如下

在layout中生产版图如下：

大佬你能先只调用一个MIM跑DRC试试嘛?