划片道的宽度和wafer边沿去除宽度由什么决定啊？

typhoon222 · 发表于 2023-3-29 11:55:29

mmkyy · 发表于 2023-3-29 13:50:46

saw street 由 wafer saw的工艺决定的；wafer edge 宽度由die的大小和在wafer上的排布Pattern决定的

typhoon222 · 发表于 2023-3-29 14:35:53

mmkyy 发表于 2023-3-29 13:50
saw street 由 wafer saw的工艺决定的；wafer edge 宽度由die的大小和在wafer上的排布Pattern决定的 ...

die的大小和在wafer上的排布Pattern如何决定wafer edge宽度的啊？

[求助] 划片道的宽度和wafer边沿去除宽度由什么决定啊？