MPW 拼top时的DRC问题

zhaoyuqiong · 发表于 2023-3-27 16:15:48

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density问题

在单个chip的top上density已经清空，但是做mpw时把几个top拼在一起，出现了density问题怎么办？如果这个问题wavie，对芯片良率会有影响吗

voiluce · 发表于 2023-3-28 09:40:10

但是做mpw时把几个top拼在一起，出现了density问题怎么办？
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再填一次dummy ？

啥工艺的mpw ？

allen_tang · 发表于 2023-3-28 13:35:34

自己家几个chip combo，merge gds后 scribe line区域加dummy；和别人家mpw，fab会加dummy的

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