1P9M工艺，为什么MOM电容最多只能到M7层？

xdf666 · 发表于 2023-3-7 20:36:03

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各位前辈好！1P9M工艺，为什么MOM电容最多只能到M7层？我想让MOM电容对地寄生小一些，希望能用高层金属。

还请各位前辈指点

axel · 发表于 2023-3-7 22:57:11

不做那个工艺，不过从流程角度，上层的金属是用来封装的，工艺也不同，容易有误差，有可靠度及其他考量，

nanke · 发表于 2023-3-8 09:52:36

如果需要也可以自己画电容，但没必要：对地寄生电容很小，也有其它处理方法；高层金属是用来走大电流线的，电容是否会受到封装应力（封装应力极端情况甚至会导致附近金属裂开）的影响，以及附近大电流的影响，也是不清楚的。中间层做电容更好。

nanke · 发表于 2023-3-8 09:53:31

nanke 发表于 2023-3-8 09:52
如果需要也可以自己画电容，但没必要：对地寄生电容很小，也有其它处理方法；高层金属是用来走大电流线的， ...

高层金属间距较大，也不方便做成小电容

xdf666 · 发表于 2023-3-9 15:23:41

nanke 发表于 2023-3-8 09:52
如果需要也可以自己画电容，但没必要：对地寄生电容很小，也有其它处理方法；高层金属是用来走大电流线的， ...

请问对地寄生电容小，具体是怎么处理呢？如果可以指点一下的话，非常感谢！

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